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センサ・マイクロマシン工学

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センサ・マイクロマシン工学

藤田 博之

中古の最安値

16%OFF

¥2899

(定価¥3456)

※これは2014年4月1日現在の中古の最安値なので、今後変更される可能性があります。

出版社

オーム社

出版日

2005/10/01

ISBN10

4274201341

ISBN13

9784274201349

ページ数

209ページ

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本の内容

センサとマイクロマシンに関して、その動作原理やつくり方からさまざまな応用に至るまでをわかりやすくまとめた教科書。センサとマイクロマシンをつくる基盤技術、半導体技術を拡張した微細加工法についても述べる。